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第422章 euv难度更大（第1页）

三人来到张江开发区，走进SmEE研发大楼，来到一间硕大的车间。

好家伙。

偌大车间，一台巨大的设备占据了大部分空间。

看着线路及零部件密集程度，令人头皮发麻。

“老板，这就是我们研发的duvArfi光刻机，不出意外，应该是目前国内最高水准。”何融明用略带骄傲的口吻介绍道：

“从双工作台、光源系统、曝光系统到物镜系统、光栅系统……任何一个零部件都是国产自主。”

换作八年前，何融明想都不敢想。

这就是资本得当的魔力。

“即便只是dUV光刻机，也是全球唯一一个能独立制造的国家。”梁青松说。

他的神情与有荣焉。

“售价准备多少？”常乐问。

“我们计划3000万美元一台。”何融明说。

嗯，ASmL的dUV光刻机型号不同，价格不同。

dUV价格区间为2000万欧元至6500欧元。

其中，与国产dUV相类似的，售价为6500万美元。

“这是很有竞争力的价格。”常乐点头。

“对，因为全线国产自主，我们的成本可以压到很低。”何融明说。

片刻后，车间内来了很多人。

这些人都是零部件企业和科研机构负责人。

何融明一一向常乐介绍。

常乐一一和这些人握手。

这些企业中，有华卓精科，他们提供双工件台；

有科益虹源，他们提供光源；

有国科精密，提供曝光系统；

有启尔机电，提供浸没系统；

有国望光学，提供物镜；

有沪光所，提供光栅系统；

还有南大光电，他们提供光刻胶；

华特气体提供光刻气体；

华润膜提供光掩膜板；

东方晶源提供缺陷检测系统；

以及，芯源微提供涂胶显影。

正是这些企业的大力研发，才能确保成功研发duv浸没式光刻机。