听完众设备企业负责人的情况介绍,常乐心里有了一个大概的底。
他说:
“诸位,我是门外汉,但听完各位的介绍,知道EUV难度很大、要求很高。”
“不是短时间能够攻破,需要拿出比dUV光刻机更多的时间来积累和探索。”
“这个可以接受,毕竟我们积累的欠账太多,总要还的。”
“不过,路再难、也要走;山再高、也要爬。”
“半导体这条路,我们不会有任何外部助力,只会有更多技术阻力。”
“希望在座各位不懈怠、不停步、不动摇……”
“继续保持昂扬的思想定力,保持通力合作的协助精神,持之以恒、持续发力,把这一颗皇冠明珠摘下来。”
“我代表乐达投资表个态,只要你们有技术突破,资金绝对不会少。”
现场掌声。
会议结束。
常乐和梁青松没有留在Smee吃饭,而是前往华红半导体。
路上,常乐问梁青松:
“梁总,有没有办法,短期内可以绕开EUV光刻机?”
“绕开?”梁青松凝神想了想,遗憾摇头说道:
“据我所知,目前学界还没有出现新的理论体系,只要想在半导体行业深耕,就必须要有EUV光刻机。”
“哎……”常乐叹气。
光刻机不比材料,无论物镜和光源,需要的不是试错,而是时间和经验的积累。
“老板,即便有另外的技术路线,我认为研发难度不会比EUV光刻机小。”梁青松说:
“毕竟EUV已经有成功例子,而其他尚处于无人区。”
“你说的我懂,那你说光刻厂可能吗?”常乐问。
“光刻厂?”梁青松不明白。
“就是用粒子加速器来实现稳定光源的……”常乐解释。
“哦……老板,您还知道稳态微聚束?”梁青松听懂了。
光刻厂的理论基础就是稳态微聚束。
通过粒子加速器获得高功率、窄带宽的辐射光。
这些辐射光的波长可以覆盖太赫兹到极紫外波段,也就是全覆盖。